에이엠테크놀로지(주)

产品介绍

为大家介绍半导体、精密设备领域的全球引领者AM科技有限公司。

P&L事业部 D&G事业部激光事业部

P&L事业部

[CHN] P&L사업부

Double Side Lapping/Polishing Machine

特點

◆无振动设计

◆对容易破坏的减薄的工件加工最优化

◆液压方式Facing系统适用 - DMP

◆通过Self Re-conditioning可以节时间 - DMP

◆最佳的压力Resolution&实际压力显示

◆提供最优化的程序

應用領域

◆Wafers (Si, Sic, Ceramic, GaAs, Etc)

產品規格

Model			ADP-1605(DMP)	ADP-1605(CMP)
Wheel Diameter		mm	Ø1150	Ø1154
Carrier Size		mm	16B 5L	16B 5L
Max. Load Pressure		kgf	1000	1000
Upper Wheel	Drive	kW	11	11
	Speed	rpm	40	40
Lower Wheel	Drive	kW	11	15
	Speed	rpm	40	40
Inner Gear	Drive	kW	3	3
	Speed	rpm	25	25
Outer Gear	Drive	kW	3	3
	Speed	rpm	13	13
Dimension		mm	182030502520	182027302520
Weight		kg	8000	7500

名單

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